Physik Instrumente纳米定位器用于表面测量

Physik Instrumente P-616NanoCube纳米定位器
紧凑的并联运动压电系统，用于纳米定位和光纤对准
平行运动设计，在所有空间方向上都具有的刚度
即使在负载高达100 g的情况下，也能通过高共振频率实现高动态运动
单一安装平台，创新的产品设计可灵活使用。
市场上具有ID芯片功能的纳米定位器
市场上小和轻的NanoCube，行程范围为100 µm
图像处理/稳定化
纳米定位具有很高的平整度和运动平直度
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。
自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。
Physik Instrumente PICMA压电执行器，使用寿命长
的PICMA压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。
零游隙挠性导轨，导向精度高
挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。
平行位置测量，在纳米范围内具有很高的跟踪精度
所有的自由度均以单个固定参考为基准进行测量。轴之间不需要的串扰可以实时（根据带宽）得到主动补偿（主动引导）。即使在动态操作中，也可以在纳米范围内实现高跟踪精度。
应用领域
光纤定位和对准
扫描显微镜
2-光子聚合
纳米技术与纳米制造
光子学/集成光学
显微操作
样品定位
电容式传感器的亚纳米分辨率
电容式传感器可在不接触的情况下以亚纳米分辨率进行测量。它们保证了出色的运动线性，长期稳定性以及kHz范围内的带宽。

自动配置和快速的组件更换
机械和控制器可以根据需要进行组合，并可以快速更换。所有伺服和线性化参数都存储在机械师D-sub连接器的ID芯片中。每次打开控制器时，数字控制器的自动校准功能都会使用此数据。

适用于复杂的真空应用
压电系统中使用的所有组件都非常适合在真空中使用。无需润滑剂或油脂即可运行。不含聚合物的压电系统可实现极低的除气率。

Physik Instrumente PICMA压电执行器，使用寿命长
的PICMA压电执行器是全陶瓷绝缘的。这样可以保护它们免受潮湿和由于泄漏电流增加而引起的故障的影响。PICMA执行器的使用寿命是传统聚合物绝缘执行器的十倍之多。已证明没有任何故障的1000亿次循环。

零游隙挠性导轨，导向精度高
挠性导板无维护，无摩擦和无磨损，并且不需要润滑。它们的刚度允许高负载能力，并且击和振动不敏感。它们是100％真空兼容的，并且可在较宽的温度范围内工作。

通过并联运动学实现高动态多轴运行
在并联运动多轴系统中，所有执行器都作用在一个公共平台上。小的惯性和所有轴的相同设计允许快速，动态且仍然的运动。

三、Physik Instrumente产品分类
Physik Instrumente纳米定位压电弯曲平台
Physik Instrumente微型舞台
Physik Instrumente线性平台
Physik Instrumente线性执行器
Physik Instrumente旋转台
Physik Instrumentexy平台
四、Physik Instrumente产品型号；
Physik Instrumente  L-505.021212F
Physik Instrumente  L-505.AP1
Physik Instrumente G-901.R3197
Physik Instrumente P-734.2CL
Physik Instrumente E-501,00  
Physik Instrumente E-503,00  
Physik Instrumente E-509,C3A,
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente L-611.90AD
Physik Instrumente P-563.3CD
Physik Instrumente E-727.3CD
Physik Instrumente P-561.3CD
Physik Instrumente E-727.3CDAP
Physik Instrumente C-887.522
Physik Instrumente Hexapod H-811.F2:
Physik Instrumente U-780.DLS
Physik Instrumente N-565.160
Physik Instrumente N-565.260

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