德国PI线性压电挠性位移台

德国PI线性压电挠性位移台

PI的纳米定位平台和扫描仪将纳米精度的分辨率和引导精度与小的串扰相结合。这使得它们特别适合于计量，微观过程，干涉测量或半导体芯片生产检查系统中的参考应用。

带有PICMA®压电执行器驱动器和挠性导轨的线性压电平台可用于大1.5 mm的行程。

型号介绍：

压电挠性线性平台

P-630高动态压电纳米定位系统

1轴大孔径

P-753 LISA线性执行器和平台

动态稳定

P-752高精度纳米定位台

高动态和稳定的压电扫描仪，具有极其精确的引导

PI P-750

P-750压电纳米定位系统

具有直接计量功能的高负载压电驱动纳米定位系统

P-611.1线性压电定位系统

廉价，紧凑的线性定位系统

PI P-712

P-712线性压电扫描仪

紧凑型OEM系统

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电线性定位器

可变行程范围和轴配置

压电挠性垂直平台

P-620.Z-P-622.Z PIHera垂直Z定位器

可变行程范围和轴配置

S-303压电移相器

高动态，纳米级压电移相器

P-733.Z高动态Z纳米定位仪/扫描仪

直接位置测量和通光孔径

P-612.Z压电Z舞台

带孔的紧凑型纳米定位器

P-611.Z压电Z舞台

紧凑型纳米定位器

特色定制

PI P-725KHDS

P-725KHDSPIFOC®高动态物镜扫描仪

重型物镜的纳米分辨率

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德国PI线性压电挠性位移台