进口PI P-542.2 XY压电工作台
P-541.2 • P-542.2 XY压电工作台
§ 低外形、易于集成:16.5毫米
§ 孔径为80 毫米 × 80 毫米
§ 行程达200 微米 × 200 微米
§ 并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度
§ 高动态直接驱动版本
§ 传感器技术:价格实惠的应变片传感器 或可实现更高性能的电容式传感器
§ PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿 命
§ 可与显微镜平台组合实现更长行程
应用领域
§ 扫描显微镜
§ 高吞吐量显微镜
§ 超分辨率显微镜
§ 掩模/晶圆定位
§ 干涉测量
§ 测量技术
§ 生物技术
§ 显微操纵
PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命
PICMA压电陶瓷促动器为全瓷绝缘。这可以防潮,避免漏电流增大造成故障。PICMA促动器的使用寿命比传统 的聚合物绝缘促动器长达十倍。它们被证明可实现*运行1000亿个循环。
带电容式传感器,实现亚纳米分辨率
电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量,且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。
零间隙柔性铰链导向带来高导向精度
柔性铰链导向无需维护、无摩擦、无磨损,无需润滑。它们的刚性可实现高负载能力,且它们冲击和振动不敏感。 它们真空兼容,可在很广的温度范围内工作。
直接位置测量带来大精度
运动直接在运动平台上测量,*不受驱动或导向元件的影响。这样可以实现佳的重复精度、优异的稳定性和刚性 、快速响应控制。
订购信息
P-541.2DD 带大孔径的XY向纳米定位系统,高动态直接驱动,45 微米 × 45微米,并联运动,电容传感器,Sub-D连接器
P-541.2CD 带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,并联运动,电容传感器,Sub-D连接器
P-541.2CL 带大孔径的XY向纳米定位系统,100 微米 × 100 微米,并联运动,电容传感器,LEMO连接器
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进口PI P-542.2 XY压电工作台